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德國新型光敏玻璃將在日本亮相

德國特種玻璃廠商肖特(SCHOTT)將在日本市場推出光敏玻璃“FOTURANII”, 該產品可在紫外線照射下結晶化, 可用做半導體及生物技術領域的玻璃基板。

在紫外線照射下, 玻璃本身會發生變質, 再經過熱處理就會結晶化(陶瓷化), 成為光敏玻璃。 無需使用光刻膠, 只用氫氟酸即可僅蝕刻結晶化的部分。 肖特新產品的特點是, 玻璃部與陶瓷部的蝕刻選擇比高達30:1, 容易加工。

使用光刻膠蝕刻普通玻璃時, 蝕刻會向各向同性發展, 因此很難實現高深寬比加工。 而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化的部分, 從原理上來說沒有深寬比限制, 因此能夠實現20~30μm的微細圖案加工。

曝光時推薦使用波長320nm的紫外線, 可使用“UV300”曝光裝置。 雖然使用紫外線雷射器時掃描耗費時間, 但不需要掩模。 而且, 利用鐳射的焦點, 還可實現玻璃基板內部的隧道結構(橫孔)等複雜的立體結構, 而使用以往蝕刻技術時必須要層疊玻璃才能實現。

實際上, 目前已有客戶瞄準微流體展開製造, 因此有望成為無需掩模即可製造少量生產的MEMS等的手段。

新產品在晶圓狀時能夠以最大300mm(12英寸)的尺寸供應, 在片狀時能以最大200mm見方的尺寸供應。

除此之外, 肖特還在日本展出用於創意家電等的光敏玻璃(玻璃陶瓷), 以及已開始在智慧手機指紋感測器蓋板中採用的超薄板玻璃等產品。

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